东京计装

P-810系列

P-810系列流量计 最适合于半导体制造工艺中的各种气体流量测控。采用外周密封方式取得了好评。目前已被广泛应用于各种装置上,另外也供应电解研磨处理、低泄漏的高品质类型产品。 主要用途 半导体生产设备中的气体流量测控,防泄漏要求高的生产线。

标准参数

测量对象全部液体,全部气体
流量范围空气最小范围:5~50L/min(nor)
最大范围:6~60L/min(nor)
最小范围:5~50mL/min
最大范围:0.2~2L/min
· 空气在0°C,0Mpa(1atm)的流量。
· 选择流量范围时,请到官网下载中心下载本产品PDF,参照标准流量表。
· 如果气体的使用压力不为0MPa,请电话咨询。
有效刻度范围10:1
有效指示精度P-813:±3% F.S.
P-812:±5% F.S.
最高使用温度120℃ (使用FPM时)
材质本体接液部SCS14(标准), SUS316(亦可,详情请咨询)
锥管耐热玻璃
垫圈FPM(最高120℃)
CR(最高80℃)
本体侧板SUS304
面板透明PVC
连接方式标准Rc1/4
可选Rc1/8
NPT1/4
1/4SW, 3/8SW
1/4VCR, 3/8VCR
安装方法标准面板前安装六角螺母
可选安装遮光板
重量(标准型)约0.6kg(P-813)


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